等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)也叫等離子清潔機(jī),或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面,從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成,分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。就以下三個部分做一個陳述:
一、控制單元:
目前國內(nèi)使用的等離子清洗機(jī),包括國外進(jìn)口的,控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶觸摸屏控制四種方式。
而控制單元又分為啷個大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的,而2.45GHz又稱為微波等離子
二、真空腔體:
真空腔體主要是分為兩種材質(zhì)的:1)不銹鋼真空腔體,2)石英腔體。
三、真空泵:
真空泵分為兩種:1)干泵 、2)油泵
中頻電源等離子清洗機(jī),主用作用是物理作用。以單純的離子轟擊清洗物件的表面為主。
射頻電源等離子清洗機(jī),主要作用是物理作用加化學(xué)作用相結(jié)合,以物理轟擊物件表面濺射出表面原子與氣體中電離的分子,原子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),以達(dá)到表面改性的作用。
微波電源等離子清洗機(jī),主用是化學(xué)作用,但是目前國內(nèi)很少用到,考慮到屏蔽效果的原因。
等離子清洗特點:
容易采用數(shù)控技術(shù),自動化程度高;具有高精度的控制裝置,時間控制的精度很高;正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染
目前隨著社會的不斷發(fā)展人們對產(chǎn)品質(zhì)量與環(huán)境要求的不斷提高,等離子清洗正逐步替代傳統(tǒng)的化學(xué)清洗被廣泛應(yīng)用于電子行業(yè)(PCB板,LED,手機(jī),汽車),橡塑,(橡膠,塑料表面清洗,絲?。┽t(yī)療行業(yè)等。
K-mate 系列射頻電源及自動匹配器與國內(nèi)多家知名企業(yè)(戈德爾,奧坤鑫)等保持長期射頻電源及自動匹配器供應(yīng)。嚴(yán)格的品質(zhì)控制與高配置的進(jìn)口元件相結(jié)合,為產(chǎn)品24小時不間斷運行提供了保障。射頻自動匹配器采用L型阻抗網(wǎng)絡(luò),匹配范圍寬,能夠迅速調(diào)整匹配起輝放電。且能長時間穩(wěn)定運行。為客戶設(shè)備質(zhì)量打下堅實的基礎(chǔ)。